SEM画像ノイズをチェックし、SEMのカラムの固体差(出来,不出来)、安定性を確認する
SEM画像の隣接するピクセルの依存性をチェックする事により、カラムの固体差や安定性をチェック・確認するツールです。
装置管理や、新規装置の受け入れ検査に使う事ができます。
詳細は、SDチェック-ReadMe1st.pdf を参照してください。
ソフト名: | SEM画像ノイズチェックプログラム |
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動作OS: | Windows 7/Vista/XP/2000 |
機種: | IBM-PC |
種類: | フリーソフト |
作者: | (恒) |